GIntroducción eneral 

El sistema de detección y monitorización de la temperatura de la fibra óptica de Herch Opto es capaz de soportar una amplia variedad de procesos de semiconductores de vanguardia.

Sus sensores de temperatura de fibra óptica basados en fluorescencia están diseñados específicamente para mantener alta precisión, precisión y estabilidad a largo plazo en entornos hostiles.  Estos sensores son inmunes a interferencias electromagnéticas, lo que los hace ideales para la monitorización de temperatura de alta precisión en procesos de deposición asistida por plasma y grabado por plasma.

Se pueden utilizar para medir la temperatura de numerosos componentes tanto en la detección y control óptico de temperatura de contacto como en el control, como mandriles electrostáticos y anillos de borde en la cámara de proceso, lo que permite el control de temperatura y la uniformidad necesarios para la fabricación de semiconductores de vanguardia.

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